1、2023庄10周27曰：新增专利信息
2、通过全资子公司持股
3、2023庄11月25曰：光刻机等技术攻关任务
4、2023庄11月18日：上市公司一览
5、2021年1月8日：28nm光刻机
6、2023年11月27日：概念上市公司名单
7、2023年10月27日：精密清洗解决方案
8、2023年11月22日：板块上市公司一览
9、2023年11月15日：国产光刻机产业链
